Использование поглощения комплекса с переносом заряда между компонентами гибридного фотополимерного материала для записи микроструктур в синей области видимого спектра
Д. И. Деревянко1, В. В. Шелковников1, 2, С. И. Алиев1, 2, Н. А. Орлова1, В. С. Басистый1, Е. Ф. Пен3
1 Новосибирский институт органической химии имени Н. Н. Ворожцова СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
3 Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
Разработан гибридный фотополимерный материал (ГФМ), обладающий чувствительностью в синей области видимого спектра. Поглощение ГФМ обусловлено формированием комплекса с переносом заряда (КПЗ) между его компонентами — мономером и фотоинициатором, поглощающими по отдельности в УФ области. Эффект образования КПЗ может быть использован для записи дифракционных оптических элементов и других микроструктурных компонентов с использованием литографических установок с длиной волны записи в синей области видимого спектра (λ = 405, 457, 473 нм.). Экспериментально продемонстрирована возможность записи микроструктур с использованием лазерного излучения λ = 457 нм.
Ключевые слова: голография, гибридный фотополимерный материал, дифракционная оптика, фоторезисты, комплекс с переносом заряда.
Цитирование: Деревянко, Д. И. Использование поглощения комплекса с переносом заряда между компонентами гибридного фотополимерного материала для записи микроструктур в синей области видимого спектра / Д. И. Деревянко, В. В. Шелковников, С. И. Алиев, Н. А. Орлова, В. С. Басистый, Е. Ф. Пен // HOLOEXPO 2019 : XVI Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2019. — С. 311–317.