Интерференционный микроскоп фазового сдвига для контроля параметров шероховатости поверхностей оптических деталей
Иван Юрьевич Фандиенко1, 2, Геннадий Николаевич Вишняков2, Владимир Леонидович Минаев2, Роман Владимирович Минаев1
1 ООО "Электростекло", Москва, Россия
2 ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений», Москва, Россия
Разработан и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии фазового сдвига для контроля локальных отклонений микро- и нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля. Разработан и создан микроскоп интерференционный «НаноСкан» со специальным программно-аппаратным комплексом для управления измерениями и анализом результатов. Экспериментально подтверждены метрологические и технические характеристики разработанного прибора. Представлены результаты измерений среднего квадратического отклонения локальных дефектов поверхностей тисненых голограмм, а также крупногабаритных оптических деталей. Обеспечивается прослеживаемость измерений в соответствии с государственной поверочной схемой, утвержденной приказом Росстандарта от 06.11.2019 № 2657, к ГЭТ 113-2014. Микроскоп интерференционный «НаноСкан» включен в Федеральный информационный фонд под № 87394-22.
Ключевые слова: Оптический контроль, крупногабаритная оптика, интерферометрия, профилометрия, голография, измерения шероховатости поверхности, метод фазовых шагов, микроскоп интерференционный.
Цитирование: Фандиенко, И. Ю. Интерференционный микроскоп фазового сдвига для контроля параметров шероховатости поверхностей оптических деталей / И. Ю. Фандиенко, Г. Н. Вишняков, В. Л. Минаев, Р. В. Минаев // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 240–246.