Гибридный амин-акрилат-тиол-силоксановый фотополимерный материал для записи микроструктур при повышенной влажности окружающей атмосферы

Сергей Игоревич Алиев, Дмитрий Игоревич Деревянко, Владимир Владимирович Шелковников

Новосибирский институт органической химии им. Н.Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия

Был получен фоторезистивный гибридный органически-неорганические фотополимерный материал (ФГФМ) основе тетраакрилатного мономера (ТА) и тиол-силоксановых (ТС) соединений, которые были неустойчивы к гидролитической конденсации, что накладывало ограничения на получение прозрачных пленок при влажности окружающей атмосферы более 30%. Модификация ФГФМ амин-силоксановым (АС) соединением позволила получить прозрачные пленки при влажности окружающей атмосферы 40%. Для фотоотвержденных пленок ФГФМ, с соотношением ТА:ТС:АС=2.7:1:1, методом ДМА анализа были измерены термомеханические свойства: E`25˚C =1406 МПа, E``25˚C = 85 МПа, Тс = 128 ˚С. При влажности окружающей атмосферы 40%, с помощью голографической записи, были получены микроструктуры с периодом d ≈ 1.5 мкм и толщиной T ≈ 1 мкм.

Ключевые слова: гибридный фотополимерный материал, дифракционные оптические элементы, глография.

Цитирование: Алиев, С. И. Гибридный амин-акрилат-тиол-силоксановый фотополимерный материал для записи микроструктур при повышенной влажности окружающей атмосферы / С. И. Алиев, Д. И. Деревянко, В. В. Шелковников // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 330–333.