Дифракционная эффективность решеток с ошибками профиля рельефа

М. В. Шишова, А. Ю. Жердев, Д. С. Лушников, С. Б. Одиноков, В. В. Маркин

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия

В работе исследуются высокочастотные дифракционные решетки с определенными ошибками профиля рельефа из-за технологических особенностей изготовления. Для описания данных ошибок проанализированы профили тестовых образцов. Линейная модуляция периода или неточность стыковки фреймов оказывают существенное влияние на дифракционную эффективность или даже могут привести к функциональным сбоям. Для анализа потерь дифракционной эффективности в связи с присутствием внутри периода различных ошибок профиля проведено моделирование дифракции монохроматической волны на высокочастотных фазовых дифракционных решетках.

Ключевые слова: дифракционные решетки, дифракционная эффективности.

Цитирование: Шишова, М. В. Дифракционная эффективность решеток с ошибками профиля рельефа / М. В. Шишова, А. Ю. Жердев, Д. С. Лушников, С. Б. Одиноков, В. В. Маркин // HOLOEXPO 2018 : XV Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. — С. 109–114.