Современные методы повышения разрешения термохимической лазерной записи дифракционных структур
А. Г. Полещук1, В. П. Корольков1, А. Г. Седухин1, В. П. Вейко1, 2, А. А. Кутанов3
1 Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2 Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
3 Институт физико-технических проблем и материаловедения Национальной академии наук Киргизской Республики, Бишкек, Киргизская Республика
Рассмотрены различные методы, эффекты и факторы повышения пространственного разрешения безрезистной лазерной записи дифракционных структур на пленках металлов и полупроводников, основанные на тепловом воздействии сфокусированного лазерного излучения.
Ключевые слова: безрезистная лазерная запись, термохимический метод лазерной записи, дифракционные оптические элементы, лазерные технологии.
Цитирование: Полещук, А. Г. Современные методы повышения разрешения термохимической лазерной записи дифракционных структур / А. Г. Полещук, В. П. Корольков, А. Г. Седухин, В. П. Вейко, А. А. Кутанов // HOLOEXPO 2018 : XV Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. — С. 39–42.