Профилометрическая и дифрактометрическая характеризация синусоидальных тестовых решеток при производстве конформальных и дифракционных оптических элементов

Д. А. Белоусов, В. П. Корольков, Р. К. Насыров

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия

Представлены результаты исследования применения тестовых синусоидальных решёток для осуществления профилометрического и дифрактометрического производственного контроля формирования многоуровневого микрорельефа конформальных и дифракционных элементов на каждом технологическом этапе полутоновой растровой фотолитографии. Показано, что использование тестовых решёток синусоидальной формы позволяет получать полные характеристические кривые во всём исследуемом диапазоне формирования микрорельефа.

Ключевые слова: конформальные оптические элементы, дифракционные оптические элементы, растровая полутоновая фотолитография, оптический контроль, синусоидальная решётка.

Цитирование: Белоусов, Д. А. Профилометрическая и дифрактометрическая характеризация синусоидальных тестовых решеток при производстве конформальных и дифракционных оптических элементов / Д. А. Белоусов, В. П. Корольков, Р. К. Насыров // HOLOEXPO 2018 : XV Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. — С. 215–220.