Гиперхроматические элементы для волоконных конфокальных измерительных систем
Марина Андреевна Завьялова1, Петр Сергеевич Завьялов1, 2, Даниил Александрович Коверзнев1, 2, Дмитрий Радионович Хакимов1
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Конструкторско-технологический институт научного приборостроения Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2 ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ», Новосибирск, Россия
Для измерения смещений и микропрофиля поверхности с малым коэффициентом отражения предложена концепция волоконной конфокальной системы на основе суперлюминесцентного диода (ширина спектра 40 нм) и гибридного гиперхроматического объектива (ГХО). Смещение и перепад высот объекта в такой системе определяется измерением спектра отраженного от поверхности излучения с выделением доминирующей длины волны. В результате программного моделирования показано, что ошибка волнового фронта, формируемого ГХО, не должна превышать ΔW ≤ λ/10. Теоретически и экспериментально показано, что в ГХО при использовании линз с различным фокусным расстоянием возможна компенсация сферической аберрации путем изменения расстояния между дифракционным оптическим элементом и одиночной линзой. Разработанная система имеет чувствительность к смещениям образца из прозрачного стекла 0,1 мкм и менее.
Ключевые слова: оптика, дифракционные оптические элементы, гиперхроматические объективы, конфокальный метод, метод хроматического кодирования.
Цитирование: Завьялова, М. А. Гиперхроматические элементы для волоконных конфокальных измерительных систем / М. А. Завьялова, П. С. Завьялов, Д. А. Коверзнев, Д. Р. Хакимов // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 273–280.