Интерферометр Тваймана-Грина с применением метода фазовых шагов

Иван Юрьевич Фандиенко, Роман Владимирович Минаев, Дмитрий Борисович Охрименко

ООО "Электростекло", Москва, Россия

Доклад посвящён современным методам измерения параметров поверхностей оптических изделий. Представлен разработанный интерферометр, построенный по схеме Тваймана-Грина с применением метода фазовых шагов. Интерферометр предполагается использовать для контроля асферических поверхностей крупногабаритных оптических изделий. Использование интерферометра по схеме Тваймана-Грина с использованием метода фазовых шагов позволяет существенно повысить точность и воспроизводимость измерений параметров поверхностей оптических изделий. В докладе представлены конструкция интерферометра, алгоритм работы, а также особенности юстировки.

Ключевые слова: Интерферометр, Схема Тваймана-Грина, Метод Фазовых шагов, Средства измерений, Интерференция.

Цитирование: Фандиенко, И. Ю. Интерферометр Тваймана-Грина с применением метода фазовых шагов / И. Ю. Фандиенко, Р. В. Минаев, Д. Б. Охрименко // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 224–225.