Создание плоских и вогнутых VLS-решеток для вакуумной области спектра методом интерференционной литографии и их применение
Алексей Олегович Колесников1, Виктор Николаевич Михайлов2, Евгений Николаевич Рагозин1, Владислав Петрович Ратушный2, Алексей Николаевич Шатохин1
1 Физический институт имени П. Н. Лебедева РАН, Москва, Россия
2 ООО ХолоГрэйт, Санкт-Петербург, Россия
Методом интерференционной литографии изготовлены плоские и вогнутые VLS-решетки, т.е. дифракционные решетки с частотой линий, монотонно меняющейся на апертуре по наперед заданному закону. Решена обратная задача интерференционной литографии для литографической схемы с одним сферическим зеркалом-аберратором. Запись VLS-решеток двух типов производилась на халькогенидном фоторезисте с использованием непрерывного излучения аргонового лазера на длине волны 488 нм с частотами в центре 600 мм-1 для плоских решёток и 2400 мм-1 для сферических решёток. Частота изменялась в пределах от 530 мм-1до 670 мм-1для плоских решёток и от 2100 мм-1 до 2700 мм-1 для сферических решёток на краях апертуры. Параметры решеток соответствуют расчетным. Решетки испытаны в спектрометрах скользящего падения с плоским полем, получены линейчатые спектры многозарядных ионов с высоким разрешением, возбуждаемые в лазерной плазме.
Ключевые слова: VLS-решетка, интерференционная литография, халькогенидный фоторезист, спектрограф с плоским полем, мягкое рентгеновское излучение, лазерная плазма.
Цитирование: Колесников, А. О. Создание плоских и вогнутых VLS-решеток для вакуумной области спектра методом интерференционной литографии и их применение / А. О. Колесников, В. Н. Михайлов, Е. Н. Рагозин, В. П. Ратушный, А. Н. Шатохин // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 134–137.