Импульсная голографическая запись и диагностика объемных и тонкопленочных полупроводников методом динамических решеток

Алексей Леонидович Толстик, Евгений Васильевич Ивакин, Иван Геннадьевич Даденков, Александр Алексеевич Станкевич

Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь

В работе продемонстрированы преимущества диагностики объемных полупроводников и тонкопленочных полупроводниковых структур методом пространственно-модуляционной спектроскопии. Метод основан на анализе кинетики процессов записи и релаксации тонких и объемных, пропускающих и отражательных динамических решеток. Показана эффективность выделения электронной и тепловой компонент нелинейности, дистанционного измерения параметров тонких (субмикронных) пленок, измерения нелинейно-оптических, кинетических и термооптических характеристик материалов, включая времена рекомбинации свободных носителей заряда и заселения ловушечных уровней, вклад тепловой нелинейности и коэффициент температуропроводности. Показана возможность оценки толщины оксидной пленки на поверхности полупроводника на основе анализа акустической компоненты в дифрагированном сигнале, обусловленной термическим возбуждением приповерхностного слоя воздуха.

Ключевые слова: голография, динамические решетки, полупроводники, тонкие пленки, оптические нелинейности, термооптика.

Цитирование: Толстик, А. Л. Импульсная голографическая запись и диагностика объемных и тонкопленочных полупроводников методом динамических решеток / А. Л. Толстик, Е. В. Ивакин, И. Г. Даденков, А. А. Станкевич // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 349–352.