Моделирование процесса дифракции лазерного излучения и исследование погрешностей метода контроля высот шероховатостей субнанометрового уровня оптических поверхностей

Дмитрий Геннадьевич Денисов, Валерий Ефимович Карасик

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия

На сегодняшний день для диагностики высотных статистических параметров субнанометрического уровня используются различные классы оптико-электронных устройств и систем. Наибольший интерес в задачах высокоточного сертификационного контроля представляют такие перспективные приборы и системы, как динамические интерферометры, а также устройства, позволяющие оценивать среднеквадратичное значение поверхностных неоднородностей субнанометрового уровня по анализу индикатрисы рассеянного лазерного излучения.

Ключевые слова: Оптический контроль, метод дифференциального рассеяния, индикатриса рассеяния, коэффициент отражения по двум угловым координатам, поверхностные неоднородности..

Цитирование: Денисов, Д. Г. Моделирование процесса дифракции лазерного излучения и исследование погрешностей метода контроля высот шероховатостей субнанометрового уровня оптических поверхностей / Д. Г. Денисов, В. Е. Карасик // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 285–286.