Методы низкокогерентной фазовой микроскопии для исследования трехмерных объектов
В. Л. Минаев1, Г. Н. Вишняков1, 2, Г. Г. Левин1
1 ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений», Москва, Россия
2 Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия
В докладе рассмотрены особенности измерения параметров фазовых объектов, как прозрачных, так и отражающих, с помощью методов низкокогерентной фазовой микроскопии. Использование низкокогерентного излучения позволяет получать высококачественные интерферограммы, а применение современных алгоритмов цифровой расшифровки интерферограмм дает возможность восстановления фазовых изображений с высокой точностью. По полученным фазовым изображениям можно вычислять локальные (распределение высот и показателя преломления) и интегральные (шероховатость, отклонение от плоскостности, массу сухого вещества и пр.) характеристики.
Ключевые слова: Фазовый объект, Низкокогерентный источник излучения, Фазовая микроскопия, Интерферометрия, Алгоритмы расшифровки интерферограмм, Оптическая томография.
Цитирование: Минаев, В. Л. Методы низкокогерентной фазовой микроскопии для исследования трехмерных объектов / В. Л. Минаев, Г. Н. Вишняков, Г. Г. Левин // HOLOEXPO 2019 : XVI Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2019. — С. 24–32.