Новые возможности в области создания микро-наноструктурированных оптических и голографических компонентов и лазерных технологий микрообработки

Виктор Павлович Корольков, Сергей Львович Микерин, Виктор Павлович Бессмельцев, Вадим Станиславович Терентьев, Дмитрий Александрович Белоусов, Иван Александрович Лобач, Александр Владимирович Достовалов

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия

Развитие прецизионных лазерных и плазменных технологий, подкрепленное улучшением функциональности и снижением погрешностей аналитических приборов, создает новые возможности в области синтеза микро-наноструктурированных оптических компонентов и продуктов прецизионной микрообработки. Выполнение серии проектов ФЦП, РНФ и РФФИ позволило создать в ЦКП ИАиЭ СО РАН комплекс оборудования, позволяющего решать широкий ряд прикладных и фундаментальных задач. В докладе показаны возможности отдельных компонентов этого комплекса и примеры их применения. Уникальность и доступность созданного технологического комплекса будут полезны для реализации российских и международных проектов в области голографии, интегральной и волоконной оптики, сенсорики и микросистемной техники.

Ключевые слова: Микро-наноструктурированные оптические компоненты, Голограммы, Лазерные технологии микрообработки, Прямая лазерная запись, Реактивное ионное травление, Атомно-силовая микроскопия, Рефрактометрия.

Цитирование: Корольков, В. П. Новые возможности в области создания микро-наноструктурированных оптических и голографических компонентов и лазерных технологий микрообработки / В. П. Корольков, С. Л. Микерин, В. П. Бессмельцев, В. С. Терентьев, Д. А. Белоусов, И. А. Лобач, А. В. Достовалов // HOLOEXPO 2020 : XVII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. — С. 66–73.