Экспериментальное исследование процесса глубокого травления кварца при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов

Сергей Александрович Фомченков

Институт систем обработки изображений РАН — филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Самара, Россия

В работе проведены и представлены результаты экспериментального исследования по жидкостному и плазмохимическому травлению кварца на глубину больше характерного периода структуры микрорельефа. Исследованы способы формирования стойких к травлению масок на поверхности подложки. На основе результатов экспериментов подобраны и оптимизированы параметры процесса травления.

Ключевые слова: Плазмохимическое травление, жидкостное травление, изготовление ДОЭ и ГОЭ.

Цитирование: Фомченков, С. А. Экспериментальное исследование процесса глубокого травления кварца при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов / С. А. Фомченков // HOLOEXPO 2021 : XVIII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. — С. 173–177.