Применение дифракционных оптических элементов для контроля промышленных изделий
Петр Сергеевич Завьялов1, 2, Максим Сергеевич Кравченко1, Марк Владимирович Савченко1, Евгений Владимирович Власов1, Дмитрий Радионович Хакимов1
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Конструкторско-технологический институт научного приборостроения Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Применение оптических дифракционных элементов (ДОЭ) в составе промышленных оптико-электронных комплексов позволяет повысить точность, надежность и производительность контроля ответственных деталей и узлов и исключить «человеческий фактор». Как правило, такие ДОЭ представляют собой фокусаторы в наборы колец, полос, дуг, которые при совместном использовании со специальными объективами позволяют получать изображение поверхности контролируемого образца (внутренней или наружной) и определять размеры, дефекты, отклонения от прямолинейности и плоскостности. В работе представлены результаты по расчету, изготовлению и применению таких ДОЭ при реализации проекционных, теневых, телевизионных методов, а также метода структурного освещения с достигнутыми погрешностями измерений (5-15) мкм и высоким быстродействием (1 шт./с).
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, фокусаторы, теневой метод, метод структурного освещения, телевизионный метод.
Цитирование: Завьялов, П. С. Применение дифракционных оптических элементов для контроля промышленных изделий / П. С. Завьялов, М. С. Кравченко, М. В. Савченко, Е. В. Власов, Д. Р. Хакимов // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 18–30.