Оценка погрешности фазовых сдвигов в порядках дифракционных решеток интерференционного датчика линейных перемещений
М. В. Шишова1, С. Б. Одиноков1, А. Ю. Жердев1, М. С. Ковалев1, М. Л. Галкин1, В. Ю. Венедиктов2, 3
1 Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия
2 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3 Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
В статье рассматриваются фазовые сдвиги света в порядках дифракционных решеток для интерференционного датчика линейных перемещений. Применение фазовой дифракционной решетки с заданными геометрическими параметрами поверхностного рельефа позволяет стабилизировать фазовые соотношения в оптических сигналах и, в результате, в итоговой паре квадратурных сигналов, снимаемых с датчика перемещений. На основе математического моделирования предложены технически реализуемые параметры поверхностного рельефа дифракционных решеток для создания требуемых фазовых сдвигов между дифрагированными пучками, сигналами квадратурной модуляции и достижения требуемой точности измерений с нанометрическим разрешением.
Ключевые слова: Фазовый сдвиг, Датчик линейных перемещений, Квадратурные сигналы.
Цитирование: Шишова, М. В. Оценка погрешности фазовых сдвигов в порядках дифракционных решеток интерференционного датчика линейных перемещений / М. В. Шишова, С. Б. Одиноков, А. Ю. Жердев, М. С. Ковалев, М. Л. Галкин, В. Ю. Венедиктов // HOLOEXPO 2019 : XVI Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2019. — С. 119–129.