Методы характеризации метал/оксидных решеток, формируемых методами прямой лазерной записи

В. П. Корольков, Д. А. Белоусов, А. В. Достовалов, С. Л. Микерин, В. Н. Хомутов

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия

Задача исследования формирования метал/оксидных решеток возникает как при исследовании термохимических лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур (ТЛИППС), так и при исследовании периодических структур, записанных методом одноточечной прямой лазерной записи. Сформированные структуры могут представлять собой оксидные дорожки, выращенные за счет теплового воздействия лазерного излучения на металлической пленке, либо дорожки оксида между металлическими дорожками. Характеризация структуры может производиться с помощью электронной и оптической микроскопии, фотоэлектрических измерений и дифрактометрии. Работа посвящена обсуждению конфигурации измерительных схем и обработке изображений периодических и квазипериодических структур с целью получения количественных параметров, характеризующих их упорядоченность.

Ключевые слова: метал/оксидные решетки, лазерно-индуцированные периодические поверхностные структуры, ТЛИППС, тонкие пленки металлов, характеризация периодических структур.

Цитирование: Корольков, В. П. Методы характеризации метал/оксидных решеток, формируемых методами прямой лазерной записи / В. П. Корольков, Д. А. Белоусов, А. В. Достовалов, С. Л. Микерин, В. Н. Хомутов // HOLOEXPO 2018 : XV Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. — С. 191–196.