О механизме лазерной сверхдифракционной обработки тонкой плёнки молибдена

Сергей Дмитриевич Полетаев

Институт систем обработки изображений - филиал «Федерального научно-исследовательского центра «Кристаллография и фотоника» РАН», Самара, Россия

Путём численного моделирования исследовано влияние теплофизических свойств плёнки молибдена в процессе лазерной абляции на ширину формирующегося трека. В соответствии с полученными данными произведено уточнение гипотезы, объясняющей сокращение ширины трека в зоне абляции плёнки по сравнению с эффективным диаметром лазерного пучка. Показано, что специфическое изменение коэффициента теплопроводности вещества в момент окисления оказывает значительное влияние на распределение температурного поля, выражаемое в сужении характеристики распределения температуры по поверхности плёнки, что ранее не рассматривалось. Установлено, что изменение плотности, удельной теплоёмкости и тепловой эффект химической реакции окисления молибдена в процессе окисления плёнки не оказывают существенного влияния на распределение температуры в зоне воздействия лазерного пучка.

Ключевые слова: оптика, COMSOL, оптический элемент, лазерная абляция, фототермический эффект.

Цитирование: Полетаев, С. Д. О механизме лазерной сверхдифракционной обработки тонкой плёнки молибдена / С. Д. Полетаев // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 329–340.