Дифракционная эффективность пилообразных двухрельефных микроструктур в рамках электромагнитной теории дифракции

Григорий Исаевич Грейсух, Артем Иванович Антонов, Евгений Григорьевич Ежов

Пензенский государственный университет архитектуры и строительства, Пенза, Россия

Одной из общих задач голографии и дифракционной оптики является достоверный расчет дифракционной эффективности (ДЭ) микроструктуры. Наиболее достоверную оценку ДЭ в случае пилообразных рельефно-фазовых микроструктур c относительно низким (меньше двадцати) значением отношения периода дифракционной микроструктуры к высоте рельефа позволяет получить метод, основанный на решения системы уравнений Максвелла, в частности, строгим анализом связанных волн (RCWA). Оценить предельно достижимую ДЭ рельефно-фазовой микроструктуры RCWA-методом позволяет использование предложенной в докладе математической модели материала просветляющего покрытия плоских и рельефных рабочих поверхностей микроструктуры. Установлена причина осциллирующего характера зависимости ДЭ от угла падения излучения на пилообразную микроструктуру с двумя внутренними рельефами. Показано, что минимизировать негативное влияние осцилляций на оценку предельно допустимого угла падения излучения и на качество изображения, формируемого рефракционно-дифракционной оптической системой, можно только путем увеличения отношения периода дифракционной микроструктуры к эффективной глубине рельефа.

Ключевые слова: Пилообразная рельефно-фазовая микроструктура, Дифракционная эффективность, RCWA-метод расчета дифракционной эффективности.

Цитирование: Грейсух, Г. И. Дифракционная эффективность пилообразных двухрельефных микроструктур в рамках электромагнитной теории дифракции / Г. И. Грейсух, А. И. Антонов, Е. Г. Ежов // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 92–98.