Анализ встраиваемых 2D дифракционных сенсорных элементов для контроля долговременной нестабильности систем лазерной записи ДОЭ

Дмитрий Александрович Белоусов, Виктор Павлович Корольков, Руслан Владимирович Шиманский, Роман Игоревич Куц

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия

В работе обсуждается использование специализированных 2D дифракционных сенсорных элементов (2D-ДСЭ), встраиваемых в рабочее поле дифракционных оптических элементов (ДОЭ), для контроля долговременной нестабильности процесса их сканирующей лазерной записи. Эти сенсоры состоят из двух частей: первая записывается до начала записи ДОЭ, а вторая во время записи с заданным смещением относительно первой. Изменение скважности, а также изменение смещения между составными частями такого сенсора от заданных значений, при освещении 2D-ДСЭ сфокусированным пробным световым пучком приводят к изменению дифракционной эффективности в дифракционных порядках. Показана эффективность использования данных встраиваемых 2D-ДСЭ для оценки методом оптической дифрактометрии ошибок координат формируемых дифракционных зон и скважности структур при лазерной записи ДОЭ.

Ключевые слова: Дифракционные оптические элементы, Сканирующая лазерная запись, Дифракционные сенсорные элементы, Дифракционная эффективность.

Цитирование: Белоусов, Д. А. Анализ встраиваемых 2D дифракционных сенсорных элементов для контроля долговременной нестабильности систем лазерной записи ДОЭ / Д. А. Белоусов, В. П. Корольков, Р. В. Шиманский, Р. И. Куц // XIX Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — Барнаул: ИП Колмогоров И. А., 2022. — С. 99–104.