Прямая лазерная запись с формированием рельефа на двухслойной структуре a-Si/Ag
Аскар Асанбекович Кутанов1, Нурбек Сыдык уулу1, Игорь Алексеевич Снимщиков1, Замира М. Казакбаева2
1 Институт физики имени академика Ж. Ж. Жеенбаева, Национальная академия наук, Бишкек, Киргизия
2 Кыргызско-турецкий университет Манас, Бишкек, Киргизия
Представлены результаты прямой лазерной записи на двухслойной структуре аморфный кремний/серебро, нанесенной на стеклянную подложку методом магнетронного напыления. Исследованы спектры поглощения пленок а-Si различной толщины, и стеклянной подложки. Предложен метод прямой лазерной записи микроструктур сфокусированным излучением одномодового полупроводникового лазера с длиной волны λ= 405нм на двухслойной среде а-Si/Ag со стороны стеклянной подложки. Исследовано формирование рельефа на пленке серебра при прямой записи импульсами полупроводникового лазера с λ = 405нм на подслое а-Si для прикладных защитных оптических технологий.
Ключевые слова: прямая лазерная запись, двухслойная структура, аморфный кремний/серебро.
Цитирование: Кутанов, А. А. Прямая лазерная запись с формированием рельефа на двухслойной структуре a-Si/Ag / А. А. Кутанов, Н. Сыдык уулу, И. А. Снимщиков, З. М. Казакбаева // HOLOEXPO 2021 : XVIII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. — С. 269–275.