Лазерная запись силицидных структур на плёнках Ti с покровным слоем Si

Дмитрий Александрович Белоусов, Роман Игоревич Куц, Виктор Павлович Корольков

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия

В работе представлены результаты исследования термохимической технологии формирования масок на плёнках титана с помощью стимулирования реакции образования силицида титана при нагреве сфокусированным лазерным пучком покровного слоя кремния на титане. Слой Si исполняет три функции: защищает плёнку титана от медленного окисления в воздухе, увеличивает поглощение лазерного излучения, участвует в реакции образования химически стойкого силицида. Предлагаемая технология позволяет увеличить скорость и диапазон мощности лазерной записи дифракционных структур по сравнению с записью на однослойных плёнках титана. Обнаружен эффект аномального фазового сдвига между выступами и канавками записанных отражательных решёток, который зависит от скорости сканирования пучка и толщины слоя Si.

Ключевые слова: термохимическая технология, прямая лазерная запись, тонкие плёнки металлов, покровный слой, коэффициент поглощения, дифракционная оптика.

Цитирование: Белоусов, Д. А. Лазерная запись силицидных структур на плёнках Ti с покровным слоем Si / Д. А. Белоусов, Р. И. Куц, В. П. Корольков // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 318–323.