Микроструктурированная Pd/PdO нанопленка как сенсорный элемент на водород
Артём Викторович Шелаев1, Александр Валерьевич Барышев1, Дарья Павловна Куликова1, 2
1 ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н. Л. Духова», Москва, Россия
2 Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия
Водородная энергетика требует производства дешевых и высокоточных оптических сенсоров на H2. Оксид палладия PdO реагирует на водород, но имеет долгие времена отклика и низкую чувствительность. Палладий повышает скорость отклика и чувствительность. Для формирования Pd/PdO структур использовался сфокусированный лазерный пучок: исходная нанопленка Pd локально окислялась и превращалась в PdO. Детектировался отклик в режиме на отражение: под воздействием водорода отражение меняется, так как PdO переходит в Pd. Оптимизируя структуру сенсорного элемента, достигнуто увеличение скорости оптического отклика в 225 раз. Величину отклика удается значительно повысить, используя структуру Pd/PdO как дифракционную решетку и детектируя интенсивность в первом порядке.
Ключевые слова: оптические сенсоры, лазерная литография, дифракционная решетка.
Цитирование: Шелаев, А. В. Микроструктурированная Pd/PdO нанопленка как сенсорный элемент на водород / А. В. Шелаев, А. В. Барышев, Д. П. Куликова // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 315–317.