«Сухой» метод изготовления компьютерно-синтезированных голограмм на основе прямой лазерной записи на пленках титана

Дмитрий Александрович Белоусов, Виктор Павлович Корольков, Руслан Камильевич Насыров, Андрей Георгиевич Седухин, Владимир Николаевич Хомутов, Руслан Владимирович Шиманский, Роман Игоревич Куц, Анатолий Иванович Малышев

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия

В работе описан метод изготовления компьютерно-синтезированных голограмм, при котором топология оксидной маски, сформированная прямой лазерной записью на тонкой пленке титана, преобразуется в бинарный фазовый рельеф с использованием «сухих» процессов – реактивного ионного травления титана и термического отжига. Фазовый микрорельеф элементов, изготовленных с помощью описанного метода, представляет собой протравленные в материале кварцевой подложки канавки, между которыми располагаются выступы, покрытые оксидом. Представлены результаты экспериментального и теоретического исследования дифракционных структур, изготовленных по предлагаемой технологии с целью оптимизации их характеристик при использовании для формирования эталонных волновых фронтов в интерферометрических измерениях качества сферических и асферических поверхностей.

Ключевые слова: Компьютерно-синтезированные голограммы, лазерная термохимическая технология, прямая лазерная запись, тонкие плёнки металлов, реактивное ионное травление, дифракционная эффективность.

Цитирование: Белоусов, Д. А. «Сухой» метод изготовления компьютерно-синтезированных голограмм на основе прямой лазерной записи на пленках титана / Д. А. Белоусов, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, А. Г. Седухин, В. Н. Хомутов, Р. В. Шиманский, Р. И. Куц, А. И. Малышев // HOLOEXPO 2020 : XVII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. — С. 198–204.