Система прямого монохроматического контроля толщины тонкопленочных интерференционных покрытий, наносимых в вакууме

Юрий Олегович Просовский¹, Олег Федорович Просовский¹, Андрей Низаметдинович Исамов¹, Александр Юрьевич Буднев¹, Виктор Андреевич Смольянинов¹, Дмитрий Геннадьевич Денисов²

¹ АО "ОНПП "Технология им. А.Г. Ромашина", Обнинск, Россия
² Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Москва, Россия

Разработан метод прямого монохроматического контроля толщины наносимых оптических покрытий на основе монохроматора собственной конструкции. Показана структурная схема монохроматора. Показан принцип работы системы контроля в целом. Показаны ключевые особенности данного метода.

Ключевые слова: оптика, оптические покрытия, система контроля.

Цитирование: Просовский, Ю. О. Система прямого монохроматического контроля толщины тонкопленочных интерференционных покрытий, наносимых в вакууме / Ю. О. Просовский, О. Ф. Просовский, А. Н. Исамов, А. Ю. Буднев, В. А. Смольянинов, Д. Г. Денисов // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 262–265.