Современные методы решения проблем и задач создания тонкопленочных структур для различных приложений конструкционной и приборной оптики

Андрей Низаметдинович Исамов, Юрий Олегович Просовский, Олег Федорович Просовский, Александр Юрьевич Буднев, Виктор Андреевич Смольянинов

АО "ОНПП "Технология" им. А.Г. Ромашина", Обнинск, Россия

В данной работе рассмотрены современные методы решения проблем и задач, возникающих при создании тонкопленочных структур. Подробно рассмотрены современные технологии получения оптических покрытий. Проанализированы ключевые особенности каждого метода. Показаны возможности каждой из технологий, а также приведены практические результаты применения на реальном производстве.

Ключевые слова: оптика, оптические покрытия, вакуумное напыление.

Цитирование: Исамов, А. Н. Современные методы решения проблем и задач создания тонкопленочных структур для различных приложений конструкционной и приборной оптики / А. Н. Исамов, Ю. О. Просовский, О. Ф. Просовский, А. Ю. Буднев, В. А. Смольянинов // HOLOEXPO 2023: 20-я Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям (Сочи, 12–15 сентября): Тезисы докладов. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. — С. 266–269.