Прямая лазерная запись отражающих полутоновых микроизображений на тонких пленках хрома
Виктор Павлович Корольков1, Роман Игоревич Куц1, 2, Александр Рашитович Саметов1, Вадим Владимирович Черкашин1, Сергей Константинович Голубцов1, Анатолий Иванович Малышев1
1 Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия
В работе реализована технология прямой лазерной записи полутоновых микроизображений, работающих на отражение, на тонких (~50 нм) пленках хрома. Технология записи полутоновых отражающих микроизображений включает два технологических этапа: лазерную запись и жидкостное травление. Разработана методика воспроизведения зависимости отражения структур от мощности экспонирующего излучения. Достигнут контраст полутоновых изображений, превышающий 10 раз. Методика учитывает влияние толщины используемых пленок на формирование локального оксидного слоя: перед использованием новой серии напыленных пленок хрома, производится корректировка характеристической функции материала. Технология применима для создания как эталонных отражающих микроизображений так и отражающих амплитудных полутоновых ДОЭ.
Ключевые слова: Прямая лазерная запись, полутоновые микроизображения, пленки хрома, лазерное окисление, эталонные микроизображения, дифракционные оптические элементы.
Цитирование: Корольков, В. П. Прямая лазерная запись отражающих полутоновых микроизображений на тонких пленках хрома / В. П. Корольков, Р. И. Куц, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов, А. И. Малышев // HOLOEXPO 2021 : XVIII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. — С. 48–52.